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产品名称:真空增压泵

详细介绍

ZRS 系列机械增压泵基于罗茨原理,机械增压泵是压力范围为 0.01 50 mbar 且需要大抽速应用的首选。
该泵需要配套一台前级泵使用,前级泵可以预抽到增压泵的启动压力。由于机械增压泵运行压力较低,不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性工艺介质中,因此可靠性非常高。